透镜的研发成功只是第一步。光
刻机的制造难度极大，但主要的拦路虎一共有四条。第
一是制造精度要求极高，一台光刻机数万个零件，要求的制造精度最少也是微米级，绝大多数精密部件要求精度达到亚微米级，极少数超高精密零部件的加工精度需要达到100纳米～200纳米。这
样高的精度，以国内现行的加工技术，根本做不到。人
力有时而穷，八级技工的手工打磨最高精度仅能达到亚微米级，就算秉持着十年磨一剑的精神，也磨不出精度只有100微米的极高精密零件。不
过对于钢铁城来说，这已经不是问题。实验工厂新研发的自动车床、铣床、磨床等一系列加工设备，均达到了最高精度一百多纳米的水平，完全达到了个别超高精密零部件的加工要求。
第二个是高透光度的透镜。第
三个拦路虎，则是光刻机的行动部件。
最后一个，就是短波激光光源。芯
片光刻，是通过工作台的移动，来改变光刻聚焦，对光刻胶进行刻蚀。它的运动控制部件优劣，直接决定了光刻的精度，而移动速度，又决定了产率，可以说是光刻机最核心的子系统。要
保证最佳的对焦调整，工作台的最小移动距离必须非常小，最好是一个纳米一个纳米移动。实
际制作中当然达不到这样的精度。
以飞利浦最新款的光刻机为例，它的最小移动距离实际只有300纳米。加上光源波长，它的光刻效果，最小线宽达到了三百五十纳米。其
他厂商差不多也是同一水平，有区别也差距不大。
这就是当前国际最先进的光刻机制程能力。
所谓一代设备，一代产品。
最新的奔腾2266处理器，采用的就是350纳米线宽的制程工艺。
白云天进入到实验室，对李莲道：“你们这边进度怎么样？”
“非常顺利！”李莲给了他一个笑脸。她
带领的小组，负责制造光刻机最关键的工作台子系统，其中最重要的就是运动部件。
为了保证运动的稳定性，移动部分不是普通导轨，而是空气悬浮导轨。
从制造难度来说，它不算太大。
无非是一两百纳米的加工精度，对才鸟枪换炮的钢铁城来说一点难度也没有。
之所以它会成为光刻机研制的拦路虎，还是因为导轨设计需要运用到非常高深的流体力学知识，才能验算出怎样设计才会将气流对工作台稳定性的影响降到最低，从而设计出满足工业需要的产品。偏
偏这一点，对白云天最不构成阻碍。
谁让他有《制造史回顾》！从
科研的角度来说，这时代的其他人就好像盲人在旷野中摸索。
他们要很小心才不会路上的沟坎、障碍物绊倒，然后还要努力分辨前方究竟是悬崖，还是崎岖难行的山路，亦或是高不可攀的山峰。只
有通过空气流动、潺潺水声，他们才能花费巨大代价，找到一条前进的道路。但
即便如此，也许跟着水流、空气前行，还是会走入死胡同，不得不又退回到起点，重新寻找别的途径。在这个过程中，他们也尽可能与其他探路者相互交流信息，告诉别人某条路可能走得通，某条路是死路，让他们不要再去尝试。
人类文明每前进一步，都艰辛无比。但
白云天不同。
他就如同开了全图的玩家，一落地，就对四面八方的道路有着完整的认知，绝对不会走错。决
定他前进速度的，从来不是寻路的过程，而是有着怎样的交通工具。
他可以一直走在正确的道路上，偶尔步入一个岔路，在地上捡到一点不知道谁丢的钱。随后，他就可以用这钱去买一辆自行车，在接下来的路上骑得更快、更轻松，还有空看看美丽的风景。
光刻机的制造就是这样。其
他光刻机巨头，需要投入重金，请最优秀的研发人员，用最好的研发设备，潜心研究数年，中途还要用利益跟其他人交换技术，才能艰难地前行一步。
然而白云天不需要。他
在一开始，就清楚地知道自己在做什么样的东西，如何去做。
只要自己的技术够了，不需要试多少次，就能将东西做出来。这
对这时代的其他科研人员是不公平的。但
这世界，从来没有公平！
落后就要挨打，这是永世不变的至理箴言！
白云天从来不需要顾虑他人的感受，他只是根据自己的目标，坚定地走在自己的路上。
透镜、工作台很容易就做了出来。
并且他还根据后世设计，对工作台做了巨大改动，将惯常的一个工作台，改为了双工作台。当
一个工作台正在进行光刻工序时，另一个工作台则提前进行晶圆片更换、定位、微调、测量等前序工作。当那一个工作台完成光刻，两个工作台换位，立即就能进行下一道光刻工序，极大地提升了光刻效率。
光源部分，是唯一没有自造的。毕
竟汞灯只是光刻机光源，波长统一为365纳米，其制造难度并不是特别大。国际市场上的供应商很多，全面禁止对华出口的难度较大，很容易买到。白
云天为了省事，也就没自造，而是通过国内，直接购买了一套。
但是他还是做了小幅改进。就
是用将目镜浸入纯净液体中的方式，对光束波长进行一定幅度的折射，从而达到聚焦效果。
在后世，这叫浸入式光源。
现在各大光科技厂商正在就此技术，进行实验室研究阶段，尚未投入实用。既
然白云天手里有完整的技术，浸入式光源又能小幅改进光源聚焦，那又为何不用？实
际使用效果很好。
采用了浸入式光源技术以后，364纳米的光束波长被约束到了312纳米！
比之英特尔使用的350纳米技术，提升了近40纳米！
在白云天的亲自指导监督下，有李莲、华新等人直接领导，光刻机的制造进度快得惊人，透镜、工作台子系统、光源等最大的技术难点，一一被轻松攻克。经
过两个月的技术攻关——其实就是逐步熟悉制造工艺，一台双工位，最大晶元刻蚀尺寸为200的光刻机就顺利建造完成，顺利得让所有参与制造的技术人员感觉如在做梦。
“这就做好了？”当
最后一块挡板合上，螺丝拧紧，对光刻机通电系统测试通过，白云天宣布光刻机研发成功，其他人还是不敢相信这个事实，不由窃窃私语。连
下料到解决一个个技术问题，制作出子系统，再到总装，两个月就做出一台这时代最先进的光刻机……
这可能吗？就
算国内光刻机厂家，有现成图纸、熟练工，做一台出来也不止这点时间吧。“
行不行咱们试试不就知道了。”白云天看着众人表情，笑了笑没有解释。有
他带着一种接受了高端制造技术知识注入的新人亲自参与，两个月制造一台光刻机算什么。要
↑返回顶部↑